概要
SEC-Z700系列和CRITERION D200系列即使在上流和下流壓力影響的情況下也可以提供穩(wěn)定的流量控制。標準的氣路系統(tǒng)會有調(diào)壓閥，壓力傳感器和過濾器來避免壓力影響對流量控制的干擾。新型號的質(zhì)量流量控制器，如SEC-Z700系列和CRITERION D200系列，可以不受上流和下流壓力的影響，提供高穩(wěn)定性的流量控制。不僅可以提供流量輸出，還可以讀取溫度和壓力數(shù)據(jù)。可以通過模擬信號控制，也可以通過RS-485和DeviceNet的數(shù)字通信控制。這種型號適合用于高性能，緊湊型和減少管路重量的氣路系統(tǒng)。
特征
?復(fù)合氣體/復(fù)合流量功能-氣體種類和全流量可以由客戶更改。 
?可變PID功能提供全流量范圍高速響應(yīng)時間（在一秒以內(nèi)） 
?緊湊型氣路-不需要調(diào)壓閥，壓力傳感器和過濾器 
?穩(wěn)定氣體流量控制，不受上流和下流壓力的影響 
?集成進氣端壓力傳感器 
?自身多種顯示 
?精度保證1%設(shè)定流量 
?超潔凈設(shè)計：金屬密封圈，所有都是SUS-316L不銹鋼，并且經(jīng)過表面拋光（標準） 
?緊湊型尺寸-50SLM以內(nèi)采用一樣的尺寸 
?信號兼容-模擬/RS485數(shù)字模式，DeviceNet模式 
?網(wǎng)絡(luò)功能-通過數(shù)字信號控制