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美國Setra 真空電容式壓力計美國西特730

美國Setra 真空電容式壓力計美國西特730

所屬分類:美國西特
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Setra 的730 型是一款高精度的電容式壓力計(亦稱電容式膜片真空計 (CDG)),適合在光伏、半導體和工業市場中測量對過程控制至關重要的低真空范圍。該產品讀數精度達±0.5%,分辨率高,優于同類產品。730 型使用全InconelTM 接液材料,可承受半導體加工過程中的腐蝕性介質。由于采用直接測量設計,它能精確測量介質,不受應用中氣體混合物成分的影響。

適合苛刻應用的高性能產品
采用單膜片可變電容感應元件,適用于苛刻的半導體和工業真空應用。它具有讀數精度和分辨率高、動態范圍寬的特點,使之成為關鍵制造過程中的理想選擇。

Inconel® 設計保證通用性
所有接液部件均采用Inconel® 材料, 因此對半導體和工業真空過程中的腐蝕性介質具有極高的耐受性。
Inconel®材料結合全焊接結構, 確保730型在這類應用中的長使用壽命。

直接壓力測量
內置膜片可在使用點直接測量壓力變化。與其他工業電容式壓力計不同,730型測量直接壓力, 不受被測混合氣的影響,這使其精度優于間接測量型壓力計。

應用
·半導體處理室
·石化
·等離子體滅菌器

·真空包裝


規格

         性能參數

物理參數

電氣參數(電壓)

精度1

±0.5%讀數

±0.25%讀數(可選)

壓力接口

參見訂購信息

激勵輸出4

12-30VDC/0-10VDC

9-30VDC/0-5VDC

響應時間

﹤20MS

接液材料

Lnconel@

電流消耗

﹤10mA(最大值)

分辨率

無限,僅受輸出噪聲的

限制(≤0.005%FS)

電氣連接

5針螺釘端子、9針D-Sub或15

針D-Sub接頭(位于6*尾纖上)

輸出負載

﹥10KΩ

溫度影響2

殼體

不銹鋼

輸出阻抗

﹤1Ω

補償范圍

0~+50℃

腔室體積

﹤6.0cc

電路

3線制

零點漂移

0.25%FS/50℃

重量(近似值)

﹤250g

壓力介質

量程漂移

1.35%讀數/50℃

環境參數

與lnoonel@兼容的氣體或液體。lnoonel@接液材料僅適用于0.5*管道選項。其他接頭選項會添加不銹鋼。

長期溫度性3

0.5%FS/1年,不受環境條件影響

溫度

工作溫度

0至+80℃

認證

1.包括非線性、非重復性盒遲滯        3.在80℃下運行時,滿量程范圍小于100Torr

2.產品在66℉進行標定,最大溫          時為±1.0%FS/年

度影響誤差由此數據得來          4.采用50KΩ負載進行標定。可在負載≥5KΩ時工作

CE.RoHS




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