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壓差式質量流量控制器 D500

壓差式質量流量控制器 D500

所屬分類：HORIBA堀場流量計
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  • 壓力不敏感性能
    高性能壓力補償新功能簡化了供氣系統
  • 多量程、多氣體、多壓力解決方案
    新功能允許用戶改變氣體類型、滿量程流量和供壓范圍
  • G-LIFE（集成限流器方程的氣體定律校驗）自診斷功能
    先進的工藝健康監控功能允許操作人員自行進行測試，即使提高通過量，通常也能在三秒或更短的時間內完成測試。
  • 高精度
    先進的三維調整功能提高了工藝氣的流量精度
  • 快速響應
    響應時間：< 0.8 秒
    可實現精確、穩定的流量控制
  • 動態范圍
    控制范圍廣：0.2% 滿量程 至 100% 滿量程

 

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