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LU 系列自動供液系統
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產品詳情
蒸汽壓力監視功能作為標準配置,可在更換母罐期間檢查吹掃效率
可選配稱重傳感器,監視母罐中殘余液體總量
LU-A1000 系列設計緊湊,采用集成氣體系統,與傳統配件相比,可顯著減小尺寸
日常維護時輕松更換部件
脫氣器模塊為標準配置,可降低液體鼓泡風險,適用于各種汽化系統,包括注入和烘烤應用
安全標準:SEMI S2/S8/S14, CE 標志
安全改善:多樣化的監視設備提供全自動控制。LU-A1000 系列配備了自動緊急關機功能,一旦系統出現故障,該功能將被啟動
可操作性改進:操作步驟全自動化,防止操作失誤。操作也可以通過設備前端的觸控面板來控制
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